Innovation aus Jena: Womit Carl Zeiss weltweit konkurrenzlos ist

Jena.  Kandidat für Thüringer Innovation: Wie Jenaer Technik von Carl Zeiss SMT die Produktion moderner Computerchips ermöglicht.

Die Operatoren sind Katja Grobe (l.) und Robert Mittelstädt mit dem Zeiss AIMS fab neo. 

Die Operatoren sind Katja Grobe (l.) und Robert Mittelstädt mit dem Zeiss AIMS fab neo. 

Foto: Manfred Stich / Carl Zeiss SMT

Moderne Chips bestehen aus bis zu 50 Ebenen. Diese werden nacheinander auf einen Wafer belichtet - jeweils durch eine eigene Fotomaske. Jene müssen an den entscheidenden Stellen fehlerfrei sein. Das Prüfgerät Zeiss "AIMS fab neo" hilft dabei, Schadstellen zu finden. Mit dem System ist das Jenaer Unternehmen Carl Zeiss SMT weltweit konkurrenzlos und steht unter den Top 20 beim Thüringer Innovationspreis.

Strukturen auf Chips werden immer feiner

Die Strukturen auf den Chips werden immer kleiner und sind nur wenige Nanometer breit. Deshalb ist es in der Praxis unmöglich, eine Fotomaske defektfrei herzustellen. Das Zeiss-Gerät vermisst deshalb die vorhandenen Defekte und bewertet sie, inwiefern sie zu Fehlern bei der Übertragung auf den Chip führen. "So müssen nur die wirklich relevanten Defekte repariert werden, was Zeit und Kosten spart", sagt der zuständige Produktmanager Robert Birkner.

Das Zeiss-Gerät analysiert mit einem Mikroskop die Strukturen und gleicht sie mit der Vorgabe ab. Die Technologie hatte das Unternehmen 2001 auf den Markt gebracht. Der Nachfolger ist nicht nur modernisiert, sondern bietet auch zusätzliche Vorteile wie ein besser wartbares Optikdesign, eine benutzerunabhängige Bildauswertung und ein vollautomatisches Handlingsystem. Das Gerät unterstützt damit den Trend zur Automatisierung bei den Maskenherstellern.

An der Entwicklung waren im Kernteam 20 Mitarbeiter beteiligt. Zeiss hat seit der Markteinführung im Jahr 2018 zehn dieser Geräte verkauft, hauptsächlich nach Asien.

Preis ist mit 100.000 Euro dotiert

Der Thüringer Innovationspreis wird am 25. November in Weimar verliehen. Die Stiftung für Technologie, Innovation und Forschung Thüringen richtet den Innovationspreis gemeinsam mit dem Thüringer Wirtschaftsministerium aus. Der Preis wird in vier Hauptkategorien und mit einem Preis für das beste junge Unternehmen vergeben und ist mit insgesamt 100.000 Euro dotiert.

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