Sensor aus Thüringen: Warum die Reinheit des Vakuums gemessen wird

Großlöbichau.  Kandidat für Thüringer Innovationspreis: Vacom aus Ostthüringen stellt eine Neuheit für die Halbleiterindustrie, Fusionsreaktoren und die Krebsbehandlung vor.

Entwicklungschef Klaus Bergner mit dem Novion-Sensor.

Entwicklungschef Klaus Bergner mit dem Novion-Sensor.

Foto: Tino Zippel

Computerchips werden im Vakuum, also im möglichst materiefreien Raum hergestellt. Schon einzelne Partikel können diesen Idealzustand stören und zu Ausschuss führen. Deshalb wollen Hersteller die Fertigungsbedingungen kontinuierlich überwachen, um schnell Abweichungen zu bemerken – Vacom aus Großlöbichau (Saale-Holzland-Kreis) hat mit Novion eine Lösung entwickelt und steht damit unter den Top 20 beim Thüringer Innovationspreis, der am 23. November in Weimar verliehen wird.

Schneller, kompakter und günstiger als bisherige Systeme

Bislang braucht es vier Geräte, um den Druck zu messen, ein Leck zu detektieren oder die Bestandteile der im Vakuum enthaltenen Gase zu bestimmen. Das neuentwickelte, kompakte Gerät liefert deutlich schneller Messergebnisse als die bisherigen Systeme und kostet überdies nur ein Fünftel davon. Mängel in der Chipproduktion fallen nun schneller auf. Einsatzmöglichkeiten bestehen auch in Fusionsreaktoren oder in Anlagen zur Tumorbestrahlung.

Der neue Sensor wird direkt an die Vakuumkammer gekoppelt und überwacht diese kontinuierlich. Eine patentierte Ionenquelle speichert dafür die im Vakuum vorhandenen, ionisierten Restgasteilchen. Das Ionenpaket wird auf einen Detektor gelenkt. Vacom ermittelt anhand der minimal unterschiedlichen Flugzeit, welcher Art die enthaltenen Teilchen sind.

Technikchef: Viele Klippen waren zu umschiffen

Ein interdisziplinäres Entwicklungsteam hat gut sechs Jahre an der Neuheit geforscht. Zudem bezog Vacom Kunden in die Tests der Innovation ein. „Viele Klippen waren zu umschiffen. Es brauchte Mut, unternehmerisches Risiko und Vertrauen in die Technologie“, sagt Klaus Bergner, technischer Leiter bei Vacom. Langfristig sieht er im neuen Messgerät das Potenzial, zum dritten Standbein der Firma zu reifen.

Anfragen erreichen Vacom nicht nur aus dem universitären Umfeld, sondern auch von Industriekunden aus ganz Europa. Der Hersteller strebt mit dem Produkt den Markteinstieg in den USA an.